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レポートナンバー 0000003273

ロールtoロール 事例集

株式会社情報機構

〜プロセス応用に向けた技術課題と対策〜

発刊日 2011/03/29

言語日本語

体裁B5/423ページ

「B5」版423ページ

0000003273

ロールtoロール 事例集
〜プロセス応用に向けた技術課題と対策〜

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レポート概要

フィルム、導電膜、リチウム電池、太陽電池、有機EL、ディスプレイ・・・  適用の進む Roll to Roll 技術、その最適化の要点を把握する。

多くの応用材料・製品での適用検討や、
コーティング・搬送・印刷など各種の要素技術について、それぞれの課題・対策を詳解。

前作以上に、応用に向けた各種最新事例を集成。
プリンタブルエレクトロニクス・フレキシブルエレクトロニクスに向けて
大面積化やトラブルシューティングについても掲載致しました。

<基幹となる要素技術の、最新事例および動向・課題を把握>

○コーティング・薄膜作製
 ・スパッタリング・・・メリット、バッチプロセスとの比較
 ・CVD・・・Cat-CVDでの優位性、作製した膜質の均一性、運用コスト
 ・真空蒸着・・・装置詳解、前処理とその効果、蒸着源・応用例各種
 ・ウェットコーティング・・・交互吸着法によるRoll to Rollコーティング
 ・めっき・・・搬送方式、槽構成、管理・制御方法
 ・電鋳・・・スタンパロールを用いてのRoll to Roll
 ・海外事例・・・ドイツフラウンホーファーFEP社のプロセス・装置・応用事例

○表面処理・・・大気圧プラズマを利用したRoll to Roll

○搬送
 ・ウェブハンドリング・・・力学の考え方、トラクション力の向上、シワの防止、ラミネート技術
 ・巻出・巻取制御・・・成膜装置の搬送系の構成、走行制御など張力の制御方法

○印刷
 ・スクリーン印刷・・・被印刷物の蛇行防止、印刷精度(位置精度管理/塗布量管理)
 ・インクジェット・・・有機エレクトロニクス作製のための課題
 ・グラビア製版・印刷・・・今後の課題(版かぶり/細線印刷時のインキ厚膜化/他)
 ・ナノインプリント・・・プロセスパラメータ、応用事例(太陽電池・光学シートなど)

○大面積化に向けた最適化
  ・・・巾方向膜厚分布、長さ方向膜厚分布、特性分布

○トラブルシューティング
 ・・・割れ対策、歩留まり対策、コストダウンに向けた方策など

<多数の応用事例から部材・製品ごとのポイント・課題を理解>

○各種フィルム・プラスチック基板
 ・プラスチック基板・・・現行技術事例(間欠搬送、連続搬送)
 ・反射防止フィルム・・・ロールコータープロセスによる積層膜の形成と特性、成膜例
 ・バリアフイルム・・・Roll to Roll 成膜技術、食品包装材料・太陽電池・フイルムディスプレイ用

○透明導電膜
 ・ITO他・・・低エネルギーイオンプレーティングによる形成例など
 ・ZnO・・・エロージョン上での比抵抗増加、温度・湿度に対する耐久性
 ・PEDOT/PSS・・・特性とRoll to Roll 塗工方式、パターニングなど

○太陽電池
 ・薄膜シリコン系・・・フィルム太陽電池のRoll to Roll製造事例
 ・有機薄膜・・・フレキシブル化に向けたプロセス適用の課題
 ・色素増感・・・製造工程とRoll to Roll化

○リチウムイオン電池・・・電極用Roll to Roll乾燥炉の数値シミュレーション

○薄膜コンデンサ・・・BaTiO3ナノ粒子単分散液塗布による作製技術

○有機デバイス
 ・有機薄膜トランジスタ・・・適用のための基本条件
 ・有機EL・・・装置の設計、膜厚分布、有機多層膜・EL素子・バリア膜の作製

○電子ペーパー・・・電気泳動方式・電子粉流体方式等の作例事例

○ディスプレイ
 ・ディスプレイ作製全般・・・パターニング工程・組立工程
 ・金属基板・・・シャドウマスクの製造プロセス

○FPC
 ・FPC作製全般・・・現状と装置事例
 ・FCCLの加熱工程・・・従来式加熱炉の問題点と最適な遠赤外線加熱方式

レポート詳細

執筆者一覧(敬称略)

●宇山 晴夫(凸版印刷(株)) ●杉山 征人(YIC京都工科大学校)
●部家 彰(兵庫県立大学) ●奥薗 博和((株)東レエンジニアリング)
●臼井 博明(東京農工大学) ●小川 倉一(三容真空工業(株))
●鈴木 巧一((株)サーフテックトランスナショナル) ●渡辺 二郎(凸版印刷(株))
●藤本 幸司(慶応義塾大学) ●檜木 利雄(尾池工業(株))
●白鳥 世明(慶応義塾大学) ●宮西 恭子(ナガセケムテックス(株))
●羽多野 聡(ダイソーエンジニアリング(株)) ●高野 章弘(富士電機システムズ(株))
●内海 春夫((株)ウィル) ●吉本 尚起((株)日立製作所)
●日野 守(積水化学工業(株)) ●岡本 俊紀(グンゼ(株))
●後藤 義光(旭化成エンジニアリング(株)) ●近藤 良夫(日本ガイシ(株))
●廣野 貴啓((株)アルバック) ●藤吉 国孝(福岡県工業技術センター)
●小林 大介(東海商事(株)) ●高橋 善和((株)TI)
●岡田 裕之(富山大学) ●泉田 和夫(東京農工大学)
●重田 核((株)シンク・ラボラトリー) ●宮路 恭祥((株)テックインテック/大日本スクリーン製造(株))
●小久保 光典(東芝機械(株)) ●青井 一将((株)ノリタケカンパニーリミテド)

目次

第1章 コーティング・薄膜作製技術のRoll to Rollプロセスにおける現行技術と課題

 第1節 Roll to Rollプロセス―スパッタリングの現行技術と課題―
 1. 機能性フィルムの現状
 2. スパッタリングによる成膜
  2.1 成膜方法とメリット
  2.2 バッチとRoll to Rollプロセス
 3. 現行技術の紹介
 4. 課題とその解決策
  4.1 光学膜
  4.2 透明導電膜(ITO)
 5. まとめ

 第2節 Cat-CVDのRoll to Rollプロセスの優位性と課題
 1. Cat-CVD 法
 2. Roll to RollプロセスとCat-CVDとの相性
 3. 枚葉式Cat-CVDで作製した保護膜の特性
  3.1 有機ELディスプレイ用水蒸気バリア膜における要求性能
  3.2 低温形成におけるバリア性の向上(H2添加効果)
  3.3 内部応力の制御
  3.4 高速形成
 4. Roll to Roll式Cat-CVDで作製した保護膜の特性
  4.1 Roll to Roll式Cat-CVD装置の概要
  4.2 膜質の均一性
  4.3 フィルムの水分の影響
  4.4 運用コスト
 5. 今後の課題

 第3節 真空蒸着のRoll to Rollプロセスにおける現行技術と課題
 1. R2R蒸着装置
  1.1 真空チャンバー
  1.2 新世代蒸着装置
  1.3 フィルム巻き取り技術
  1.4 熱負荷
 2. 前処理
  2.1 インライン前処理プロセス
  2.2 前処理の効果
 3. 蒸着源
  3.1 抵抗加熱蒸着
  3.2 電子ビーム加熱蒸着
  3.3 イオンアシスト蒸着
  3.4 スパッタリング
  3.5 反応性蒸着
  3.6 プラズマCVD(PECVD)
  3.7 高分子製膜
 4. 付帯設備
  4.1 パターニング
  4.2 インラインモニタ
 5. R2R蒸着の応用例
  5.1 キャパシタ
  5.2 フレキシブルプリント基板
  5.3 光学コーティング
   5.3.1 光学反射膜
   5.3.2 反射防止膜
   5.3.3 モスアイ構造
   5.3.4 窓材用フィルム
  5.4 透明導電膜
  5.5 ガスバリア膜
   5.5.1 金属蒸着バリア膜
   5.5.2 酸化物バリア膜
  5.6 有機電界発光素子
  5.7 太陽電池

 第4節 フラウンホーファーFEPのR2Rプロセスにおける現行技術と課題
 第1項 高速パルススパッタ
 1. 開発経緯
 2. パルススパッタの原理
  2.1 サイン波パルススパッタ
  2.2 矩形波パルススパッタ
  2.3 パルススパッタの要素技術
   2.3.1 矩形波パルス電源技術
   2.3.2 パルススパッタ用カソード技術
    1)DMSカソード
    2)RMカソード
    3)強磁場RMカソード
    4)プロセス制御技術
   2.3.3 矩形波パルススパッタの特徴
    1)高速成膜
    2)プロセスの安定性と膜厚均一性
    3)膜構造制御
    4)低温基板対応
 第2項 その他のR2R関連技術
 1. 高速マグネトロンプラズマCVD(Mag. PE-CVD)
  1.1 Mag. PE-CVDの原理と特徴
  1.2 SiOxCy成膜
  1.3 Mag. PE-CVDの課題と対応策:部分加熱ターゲットによる放電安定化
  1.4 Mag. PE-CVDの応用可能性
 2. 超高速プラズマアシスト蒸着法(HAD)
  2.1 HADの原理
  2.2 HADの特徴
  2.3 生産用R2Rコーター向けホローカソードプラズマガンシステム
  2.4 HADのハイバリヤー膜への応用可能性
 3. HADに適した新型EBガン
 4. 前処理装置
  4.1 プラスチックフィルム用RFプラズマ処理装置
  4.2 金属フォイル用高速マグネトロンエッチングデバイス
 5. FEPのR2Rパイロットコーター

 第5節 交互吸着法による機能性多層膜の形成とRoll-to-Rollコーティング
 1. 交互吸着法による薄膜形成
  1.1 交互吸着法による多層膜の成長と表面構造の制御
 2. 交互吸着法による機能性薄膜の形成
  2.1 交互吸着法による光学多層膜の設計・製造
  2.2 導電性高分子による透明導電膜の作製
 3. 交互吸着法によるRoll-to-Rollコーティング
  3.1 交互吸着法による反射防止フィルムのRoll-to-Rollコーティング
  3.2 交互吸着法による導電性フィルムのRoll-to-Rollコーティング

 第6節 めっき のRoll to Rollプロセスにおける現行技術と課題〜銅めっきなど〜
 1. 硫酸銅めっき
  1.1 用途
  1.2 プロセス
   1.2.1 可溶性陽極を用いるめっきプロセス
   1.2.2 不溶性陽極を用いるめっきプロセス
 2. Roll to Rollめっき装置技術
  2.1 搬送方式
   2.1.1 横型搬送方式
   2.1.2 縦型搬送方式
  2.2 フィルム
  2.3 槽構成
   2.3.1 前処理槽
   2.3.2 給電槽
   2.3.3 めっき槽
   2.3.4 回収槽
   2.3.5 防錆槽
   2.3.6 湯洗槽
   2.3.7 乾燥
  2.4 管理方法
   2.4.1 組成管理
   2.4.2 添加剤濃度管理
   2.4.3 槽管理
   2.4.4 排水管理
  2.5 課題と改善
   2.5.1 張力制御
   2.5.2 応力緩和
   2.5.3 膜厚分布
   2.5.4 異物対策

 第7節 電鋳スタンパロールを用いてのRoll to Rollへの応用
 1. レーザ加工の広がりから電鋳加工へ
 2. 電鋳金型は優れた転写精度を持つ
 3. 電鋳スタンパロールの役割
 4. 電鋳スタンパロール製作について

第2章 大気圧プラズマを利用したRoll to Roll表面処理技術
 1. 大気圧プラズマの発生原理
 2. RD(Roll Direct)プラズマ表面処理技術
  2.1 RD方式大気圧プラズマの特長
  2.2 処理の均一性の重要性と基材ダメージについて
  2.3 処理基材からの発塵(パーティクル発生)の抑制について
  2.4 官能基導入によるマイルドな表面改質について
  2.5 大気圧プラズマによる処理強度と密着性の関係
 3. RT(Remote Treatment)プラズマ表面処理技術
  3.1 RT方式の大気圧プラズマの特長
  3.2 リモートプラズマEUV技術との比較

第3章 搬送技術 のRoll to Rollプロセスにおける現行技術と課題

 第1節 Roll to Roll プロセスにおけるウェブハンドリング技術の基礎
 1. ウェブハンドリングとコンバーティングプロセス
 2. ウェブハンドリングの力学
  2.1 応力、歪、弾性率
  2.2 ポアソン比νについて
  2.3 ウェブ張力の考え方
 3. トラクション(摩擦)のコントロール
  3.1 オイラーのベルト公式
  3.2 静摩擦係数の測定
  3.3 ローラ抱角とウェブ張力の考え方について
  3.4 トラクション力の向上
 4. シワの防止
  4.1 シワの形態とウェブ搬送における基本法則
  4.2 入射法則
  4.3 ウェブの拡幅技術
 5. ウェブのラミネート技術

 第2節 真空中でのロールtoロール成膜プロセスにおける制御方式
 1. 巻取式真空成膜装置の搬送系
  1.1 巻取式真空成膜装置搬送系の構成
  1.2 張力制御(巻出・巻取制御)
  1.3 張力制御(走行制御)
 2. 巻取式真空成膜装置における巻取制御
  2.1 包装・装飾用成膜装置
  2.2 フィルムコンデンサ用成膜装置
  2.3 巻取式スパッタリング装置

第4章 Roll to Rollプロセスにおける 印刷技術 の現行技術と課題

 第1節 Roll to Rollプロセスにおけるスクリーン印刷の現行技術と課題
 1. スクリーン印刷のメカニズム
  1.1 スクリーン印刷のメカニズム
  1.2 スクリーン印刷の特徴
  1.3 インキ(ペースト)とワーク(被印刷物)
   1.3.1 ワーク(被印刷物)に求められる性能
   1.3.2 インキ(ペースト)に求められる性能
 2. Roll to Rollプロセスにおけるスクリーン印刷
  2.1 スクリーン印刷のRoll to Roll印刷ライン
  2.2 Roll to Roll印刷装置の課題と管理上のポイント
   2.2.1 ワークの蛇行防止
   2.2.2 印刷精度(位置精度管理/塗布量管理)
 3. スクリーン印刷の最新技術情報
  3.1 スクリーン印刷プロセスの取り組み
  3.2 システム・インテグレーションというアプローチ

 第2節 Roll to Rollプロセスにおけるインクジェット有機エレクトロニクスの現行技術と課題
 1. R2Rプロセスとインクジェット技術
 2. インクジェットの現行技術
  2.1 インクジェット方式
  2.2 インクジェットによる有機トランジスタ試作例
  2.3 インクジェットによるフレキシブル基板上への有機デバイス試作例
 3. インクジェットの課題
 4. 将来展望

 第3節 Roll to Rollプロセスにおけるグラビア製版・印刷技術と課題
 1. グラビア製版方法
 2. 印刷方法
  2.1 グラビア印刷
  2.2 グラビアオフセット印刷
 3. 印刷事例
  3.1 グラビア印刷
  3.2 グラビアオフセット印刷
  3.3 エンボスロール
 4. DLCコーティング
 5. 今後の課題
  5.1 版かぶり
  5.2 面長方向の細線
  5.3 細線印刷時のインキ厚膜化
  5.4 断面形状、アスペクト比
  5.5 最終検査・校正作業

 第4節 Roll to Rollプロセスにおける ナノインプリント の現行技術と課題
      〜太陽電池・光学シートなど各種事例を交えて〜

 1. ナノインプリント技術
 2. Roll to Roll式UVナノインプリント 
  2.1 プロセス装置
  2.2 プロセスパラメータ
  2.3 Roll to Roll 式インプリント用モールド
  2.4 パターン転写結果
 3. Roll to Roll 式インプリントの応用展開
  3.1 ディスプレイ用光学シート
  3.2 太陽電池用テクスチャフィルム
  3.3 今後の課題

第5章 大面積化に向けたRoll to Rollプロセスの最適化
 1. フレキシブル基板の要件と課題
  1.1 耐熱性
  1.2 表面性の改質
  1.3 水分・オリゴマの放出
 2. 機能性フィルムの開発プロセス
  2.1 フィルムの熱負け抑制技術
  2.2 シワ発生の要因と対策
 3. Roll to Roll製造装置・プロセスの課題
  3.1 気相成長法用Roll to Roll装置
  3.2 大面積基板への拡張
   3.2.1 空間的一様性:巾方向膜厚分布,特性分布
   3.2.2 時間的安定性:長さ方向膜厚分布,特性分布

第6章 Roll to Rollプロセスのトラブルシューティング
 1. 幅・長さの限界
 2. 制御システムの構築
 3. 膜厚ムラの制御,および膜質安定化
 4. 割れ対策
 5. 装置のクリーン化・ダスト対策
 6. 歩留まり対策
 7. コストダウンに向けた方策

第7章 各種フィルム・プラスチック基板 作製におけるRoll to Rollプロセスの応用事例

 第1節 プラスチック基板を用いたRoll to Rollプロセスの現行技術と課題
 1. Roll to Rollの現行技術
  1.1 フィルム回路基板におけるRoll to Rollの現行技術
  1.2 ディスプレイにおけるRoll to Rollの現状技術
 2. 課題
  2.1 フィルム回路基板におけるRoll to Rollの課題
  2.2 ディスプレイにおけるRoll to Rollの課題
 3. Roll to Rollの現行技術事例
  3.1 間欠搬送
  3.2 連続搬送

 第2節 反射防止フィルムにおけるロールコーターの適用例
 1. 反射防止法
 2. ロールコータープロセスによる光学フィルムへの適用例
  2.1 AlN / Cu / AlN積層膜の形成と電気・光学特性
   2.1.1 積層膜ロールコーターとAlN / Cu / AlN積層膜形成
   2.1.2 Cu薄膜,AlN薄膜,AlN / Cu / AlN積層膜の諸特性
  2.2 光学多層膜用ロールコーターと成膜例
   2.2.1 光学多層膜
   2.2.2 マルチチャンバーロールコーター
   2.2.3 反応性スパッタリング技術
   2.2.4 光学多層膜成膜例

 第3節 バリアフイルム作製へのroll to rollプロセスの応用
 1. 透明バリアフイルムの基礎技術
  1.1 気体透過の原理
  1.2 透明バリアフイルムの評価方法
 2. ガスバリアフイルムの設計
  2.1 層構成
  2.2 透明バリアフイルムの成膜方式
  2.3 Roll to Roll(R2R)の成膜技術
  2.4 ハイバリアを得るための手法
 3. 透明バリアフイルムの取り組み
  3.1 食品包装材料用バリアフイルム
  3.2 太陽電池バックシート用バリアフイルム
  3.3 フイルムディスプレイ用バリアフイルム

 第4節 フラウンホーファーFEPのR2Rプロセスの応用事例
 1. ハイバリヤー膜
 2. Ag系LowE膜
 3. 光学多層膜
 4. 透明導電膜
  4.1 酸化物透明導電膜
   1)ITO
   2)AZO,GZO
  4.2 IMI型透明導電膜

第8章 透明導電膜作製 作製におけるRoll to Rollプロセスの応用事例

 第1節 透明導電膜作成におけるRoll to Rollプロセスの適用例
 1. 透明導電膜材料と薄膜作製法
  1.1 透明導電膜材料
  1.2 透明導電薄膜作製方法
 2. 低温プロセスによるITO薄膜作製例と諸特性
  2.1 低電圧マグネトロンスパッタ法によるITO薄膜の作製例
  2.2 パルスレーザーディポジション(PLD)法によるITO薄膜
  2.3 低温プロセスによるITO薄膜の比較
 3. RTR薄膜作製装置による透明導電膜形成例
  3.1 低エネルギーイオンプレーティングによるITO薄膜
  3.2 ITO/Ag/ITOナノ積層化による低抵抗透明導電薄膜
 4. 今後の課題とまとめ

 第2節 ZnO透明導電膜作製へのRoll to Rollプロセスの応用
 1. ZnO透明導電膜
 2. ZnO透明導電膜の成膜方法
 3. スパッタリング成膜によるZnO透明導電膜
  3.1 エロージョン上での比抵抗増加
  3.2 温度・湿度に対する耐久性
 4. Roll to RollプロセスによるZnO透明導電膜
 5. 今後の課題

 第3節 PEDOT/PSS透明導電膜の特性およびRoll to Rollを含む印刷事例
 1. 導電性高分子
  1.1 π共役系導電性高分子の種類
  1.2 導電性高分子の塗膜形成方法
 2. PEDOT/PSS
  2.1 PEDOT/PSSの特性
  2.2 PEDOT/PSSのRoll to Roll 塗工方式
  2.3 PEDOT/PSSコーティング材の取り扱い上の注意点
   2.3.1 コーティング材の希釈
   2.3.2 不純物混入の影響
 3. デナトロン
  3.1 帯電防止デナトロン
  3.2 透明電極デナトロン
   3.2.1 PEDOT/PSSの導電性の向上
   3.2.2 代表グレードの特徴
   3.2.3 基材適応性
  3.3 パターニング
   3.3.1 スクリーンペースト
   3.3.2 フォトリソグラフィー

第9章 太陽電池 作製におけるRoll to Rollプロセスの応用事例

 第1節 薄膜シリコン系フィルム太陽電池(Roll to Roll製法の適用)
 1. Roll to Roll製法
 2. 基板の種類とフィルム太陽電池
 3. 富士電機システムズのフィルム太陽電池のRoll to Roll製造
 4. 富士電機のフィルム太陽電池モジュール・製品

 第2節 有機薄膜太陽電池のフレキシブル化
 1. 有機薄膜太陽電池の構成と発電原理
 2. 有機薄膜太陽電池モジュール
  2.1 太陽電池モジュール構造の種類
  2.2 並列型モジュールの作製プロセスと特徴
  2.3 直列型モジュールの作製プロセスと特徴
 3. 有機薄膜太陽電池のフレキシブル化
  3.1 フレキシブル太陽電池の比較
  3.2 フレキシブル有機薄膜太陽電池
  3.3 Roll to rollプロセス適用の課題

 第3節 フィルム色素増感太陽電池のRoll to Rollプロセス化の検討
 1. フィルム色素増感太陽電池の製造工程とRoll to Roll化
  1.1 フィルム基板(光電極基板)
  1.2 透明電極
  1.3 酸化物半導体多孔膜電極
   1.3.1 微粒子塗布(印刷)法
   1.3.2 電析法
   1.3.3 増感色素の吸着
  1.4 対極基板
  1.5 組立工程(シール材、電解液、貼り合わせ)
  1.6 補助電極とモジュール化

第10章 リチウムイオン電池 作製におけるRoll to Rollプロセスの応用事例
 1. 電極用スラリー
 2. 電極用乾燥炉
 3. 数値シミュレーション
  3.1 蒸発に関する数値シミュレーションについて
  3.2 赤外線加熱に関する数値シミュレーションについて
  3.3 Roll to Roll乾燥炉へのシミュレーション適用事例
 4. まとめと今後のリチウムイオン電池電極乾燥炉

第11章 薄膜コンデンサ作製へのRoll to Rollプロセスの応用
 1. BaTiO3ナノ粒子単分散液の調製
 2. Roll to Rollプロセスを用いたBaTiO3ナノ粒子単分散液塗布による薄膜コンデンサの作製
 3. 樹脂封孔による薄膜コンデンサの信頼性向上
 4. BaTiO3ナノ粒子の電気泳動堆積法を利用した高容量薄膜コンデンサの作製

第12章 有機薄膜トランジスタ作製へのRoll to Rollプロセスの応用
 1. R2Rプロセスと有機薄膜トランジスタ
 2. 有機薄膜トランジスタの現行技術
  2.1 印刷技術による有機トランジスタとパネル試作例
  2.2 フレキシブル有機TFTパネル・アレイの試作例
 3. 有機薄膜トランジスタの課題
 4. 将来展望

第13章 有機EL作製におけるRoll to Rollプロセスの応用事例
 1. 有機材料の高速成膜の検討
 2. 有機EL用高速成膜装置の設計製作
 3. 膜厚分布
 4. 有機多層膜の作製
 5. 蒸着材料の蒸発特性
 6. EL素子の作製
 7. バリア膜の作製

第14章 電子ペーパーにおけるRoll to Rollプロセス技術とその課題
 1. 電子ペーパーの種類と構造
  1.1 代表的な電子ペーパーの種類
  1.2 電子ペーパーの構造
   1.2.1 前面板、背面板の構成要素
 2. 電子ペーパーの製造プロセス
  2.1 電子ペーパーのコストダウン量産化プロセス
   2.1.1 HP及びLG Displayの自己整合プロセスによる電子ペーパー製作
   2.1.2 電気泳動方式のRoll to Rollプロセス(SiPix /AUO)
   2.1.3 電子粉流体方式の電子ペーパーRoll to Rollプロセス(ブリヂストン)
   2.1.4 Roll to Roll印刷技術による大面積MEMSディスプレイ
   2.1.5 センタードラム方式によるRoll to Rollプロセス

第15章 ディスプレイ作製へのRoll to Rollプロセスの応用

 第1節 ディスプレイ作製におけるRoll to Rollプロセスの応用事例
 1. Roll to Roll装置技術
  1.1 パターニング工程
  1.2 組立工程
 2. ディスプレイにおけるRoll to Rollの現状技術
 3. ディスプレイにおけるRoll to Rollの課題

 第2節 金属基板 を用いたRoll to Rollプロセスの技術と課題
      〜シャドウマスク製造工程の事例〜

 1. 金属フォトエッチング技術
 2. シャドウマスクの製造プロセス
  2.1 エッチング材料
  2.2 整面・レジストコーティング
  2.3 パターン露光
  2.4 現像・硬膜
  2.5 エッチング
  2.6 レジスト剥離・後加工
  2.7 検査
 3. Roll to Roll方式の長所と課題

第16章 FPC 作製へのRoll to Rollプロセスの応用

 第1節 FPC作製におけるRoll to Rollプロセスの応用事例
 1. FPC製作におけるRoll to Rollの現状
 2. FPC製作におけるRoll to Roll装置

 第2節 FCCLの加熱工程におけるRoll to Roll搬送の応用事例
 1. Roll to Roll式加熱炉に必要な技術
  1.1 従来のRoll to Roll式加熱炉の問題点
  1.2 Roll to Roll式加熱炉に最適な遠赤外線加熱方式
  1.3 ノリタケRoll to Roll搬送システムの紹介
 2. FCCL用Roll to Roll式遠赤外線加熱炉への適用事例

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